基于強大的 COMPex 準分子激光器的系統(tǒng)是用于具有線光束或方形光束場形狀的高質量 UV 微加工的靈活工具。
光學設計、堅固的機械結構和具有脈沖間穩(wěn)定性的準分子激光器可提供非常準確的結果。應用包括激光剝離 (LLO) 分離、摻雜劑離子激活、燒蝕圖案化和薄膜退火。
激光剝離分離
摻雜離子激活
燒蝕圖案
準分子激光退火
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