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Semicansoft薄膜測量系統(tǒng)MProbe 20

產(chǎn)品介紹

MProbe 20是一種用于全球數(shù)千個應(yīng)用的薄膜厚度測量臺式系統(tǒng)。它只需單擊鼠標即可測量薄膜厚度和折射率??梢钥焖倏煽康販y量1nm至1mm的厚度,包括多層膜堆疊。不同的MProbe 20模型主要通過光譜儀的波長范圍和分辨率來區(qū)分,這反過來決定了可以測量的材料的厚度范圍和類型。該測量技術(shù)基于光譜反射——快速、可靠且無損。

性能特點

  • 靈活:模塊化薄膜厚度測量系統(tǒng):為您的應(yīng)用選擇更好配置,并在需要時輕松升級
  • 精度:<0.01nm或0.01%
  • 材料:500+擴展材料數(shù)據(jù)庫
  • 軟件:用戶友好且功能豐富的TFCompanion軟件甚至可以處理復(fù)雜的應(yīng)用程序。層數(shù)無限制,支持背面反射率、表面粗糙度、暗度等。
  • 集成:輕松集成TCP服務(wù)器
  • 實時、一鍵測量和分析
  • 測量歷史:調(diào)用/顯示測量結(jié)果和統(tǒng)計數(shù)據(jù)

技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)地:美國

精度:<0.01nm或0.01%(在200nm氧化物上進行100次測量的s.d.)

<1nm或0.2%(依賴于膠片堆棧)

穩(wěn)定性:<0.02nm或0.2%(20天,每天測量)

測量厚度:1nm至1mm

光斑尺寸:<1mm

樣品尺寸:>=10mm

主機:包括光譜儀、光源、光控制器微處理器

樣品臺:SH200A

探頭:光纖反射

測試樣品:200nm氧化硅或PET薄膜

電纜:USB或LAN

電源適配器:24VDC

電壓:110/220V

 


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